復(fù)合式分子泵是一種高性能的真空泵，結(jié)合了多種技術(shù)的優(yōu)點，具有大抽速、高壓縮比和高可靠性等特點，被廣泛應(yīng)用于高真空、超高真空領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)形式多種多樣，其中主要包括渦輪葉片不盤式牽引泵的串聯(lián)組合和渦輪葉片不筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級主要用于提高泵的抽速，而牽引級則主要用于增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　復(fù)合式分子泵具有以下特點：

　　1、高真空性能：能夠提供非常高的真空度，適用于需要高真空環(huán)境的各種應(yīng)用領(lǐng)域。

　　2、快速抽氣速度：具有較快的抽氣速度，能夠迅速將系統(tǒng)抽至高真空狀態(tài)，提高工作效率。

　　3、廣泛應(yīng)用：適用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜涂層、航天航空、材料科學(xué)、醫(yī)療器械制造等多個領(lǐng)域。

　　4、穩(wěn)定性強(qiáng)：結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，運行可靠，長時間工作不易出現(xiàn)故障。

　　5、低揮發(fā)性：分子泵內(nèi)部使用金屬或陶瓷材料，揮發(fā)性低，不會對被抽氣體造成污染。

　　6、節(jié)能環(huán)保：相比于傳統(tǒng)的機(jī)械泵，復(fù)合式分子泵能夠更高效地實現(xiàn)高真空，節(jié)省能源并降低環(huán)境影響。

　　7、結(jié)構(gòu)緊湊：復(fù)合式分子泵結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，便于安裝和維護(hù)。

　　8、長壽命：經(jīng)過合理使用和維護(hù)，復(fù)合式分子泵具有較長的使用壽命，能夠穩(wěn)定地工作很長時間。

　　綜合來看，復(fù)合式分子泵以其高真空性能、快速抽氣速度、穩(wěn)定性強(qiáng)等特點，被廣泛應(yīng)用于各種需要高真空環(huán)境的工業(yè)和科研領(lǐng)域。